FG flash的浮栅极材料是导体。任何两个彼此绝缘且相隔很近的导体间都构成一个电容器。因此,任何两个存储单元的浮栅极就构成一个电容器,一个浮栅极里面电荷的变化,都会引起别的存储单元浮栅极电荷的变化。 一个浮栅极与其附近的浮栅极之间,都存在耦合电容,这个电容大小与彼此之间距离成反比:距离越短,电容越大,彼此影响越大(回想一下初中物理知识,平板电容器电容公式C=εS/4πkd,其中d就是平板之间距离)。因此,随着闪存制程减小,存储单元之间影响越来越大。因此,Cell-to-Cell interface也是影响制程继续往前的一个因素。 FG flash对浮栅极下面的绝缘层(Tunnel氧化物)很敏感,该氧化物厚度变薄(制成减小导致的)或者老化(degradation, 擦写次数多了),浮栅极里面的电子就容易跑出来。浮栅极里面的电子可以自由移动,是从不良绝缘层跑出来的关键。 早起尺寸为70nm的胞元可经受10000次的P/E,现在尺寸为1Xnm的胞元只能经受2000次的P/E操作。 NAND Flash存储体通过基于浮栅的MOS管,即胞元来存储信息,根据胞元阈值电压的不同表征存储信息的不同。胞元浮栅极上下被绝缘层包围,当电荷通过编程注入浮栅后,即使掉电电荷也不会泄漏,存储的信息也不会丢失。
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